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穩(wěn)定劑在拋光液中起到穩(wěn)定和調(diào)節(jié)pH值的作用。它能夠防止氧化鋁微粒在拋光過程中團聚和沉積,保持拋光液的均勻性和穩(wěn)定性。同時,穩(wěn)定劑還能調(diào)節(jié)拋光液的酸堿度,以適應不同材料的拋光需求。
注意事項:
●投入使用可以在鉆石液研磨后或碳化硼研磨后使用。
●拋光液原漿PH在12.5-13.5之間,稀釋后PH太低會影響去除率。
●使用中控制拋光墊溫度在45度以下。拋光液循環(huán)使用后,去除率下降,由單位確定是否換新液。
●拋光液的拋光效率,無結(jié)晶、濃縮液易清洗:推薦稀釋比例(1:3~1:5)。
納米氧化鋁拋光液具有移除速率高、懸浮分散性能好、對碳化硅晶圓表面無損傷、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長、易清洗、通用性好等特點,適用于半導體碳化硅晶圓的CMP拋光。
氧化鋁拋光液,涉及半導體碳化硅晶圓拋光材料制備技術(shù)領(lǐng)域,其所用原料的重量百分比分別為:氧化鋁0.5?55、氧化劑0.05?25、抑制劑0.1?10、表面活性劑0.01?12、分散劑0.01?15、pH調(diào)節(jié)劑0.1?10、余量為高純水;其制備過程為:①備料;②磨料預處理;③混合;④pH值調(diào)節(jié);⑤高壓均質(zhì)。
氧化鋁拋光液和研磨材料適用于金相、巖相、復合材料的研磨及拋光等表面處理:
1、手機殼,陶瓷,玻璃、水晶、光學玻璃等振動拋光(機器拋光、滾動拋光)、手動拋光(研磨拋光)等。人造寶石、天然寶石、鋯石、玉石、翡翠、瑪瑙。
2、單晶硅片等半導體、壓電晶學、光學晶體、光學玻璃、光學塑料、計算機硬盤、光學鏡頭、單芯光纖連接器、微晶玻璃基板、
3、鋁材、銅材、不銹鋼等金屬表面研磨拋光。
4、汽車油漆打磨拋光,樹脂拋光等,油漆表面、亞克力、非鐵金屬的表面拋光。
5、 劃痕去除:寶石、首飾、微晶玻璃、鋁板、鋼板、塑料殼、壓克力等劃傷劃痕;汽車,船舶等表面油漆出現(xiàn)的輕微劃痕等只要涂上少許拋光液,用海綿布或者拋光墊等在其表面來回拋磨,很快就光亮如新,無一點擦痕。
使用與用量:
推薦用量為1~20%,使用者應根據(jù)不同體系經(jīng)過試驗決定佳添加量。
◆ 以防少許沉淀,建議使用前先搖勻。
◆ 使用時,以不同濃度并據(jù)不同行業(yè)的需要可用過濾清潔水加以稀釋,調(diào)制不同濃度。