友情提醒：凈化工程沒(méi)有統(tǒng)一固定的標(biāo)準(zhǔn)！
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光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái)，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。
電子無(wú)塵凈化車(chē)間
潔凈室重要性：
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。 潔凈室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。


光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料：
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門(mén)、窗框等一般采用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.送風(fēng)口用不銹鋼框電子無(wú)塵凈化工程
架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板，不生銹不粘塵，宜清潔。
凈化工程安裝
電子無(wú)塵車(chē)間凈化參數(shù)：
換氣次數(shù)：100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000級(jí)≥30次;
壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa;
平均風(fēng)速：10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動(dòng)±2℃;
濕度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;
噪聲≤65dB(A);
新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
等級(jí) 等級(jí)說(shuō)明及車(chē)間應(yīng)用
1級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè)，對(duì)集成電路的要求為亞微米
10級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)
100級(jí) 很多人認(rèn)為，這無(wú)塵車(chē)間是常用因而是重要的無(wú)塵車(chē)間，人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無(wú)菌室，以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求，100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等，這一潔凈室大量應(yīng)用于，植如體內(nèi)物品的制造，外科手術(shù)，包括移植手術(shù)，集成器的制造，那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療，比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療
1000級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車(chē)間主要用于光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn)，還用于測(cè)試，裝配飛機(jī)蛇螺儀，裝配高質(zhì)微型軸承等
10000級(jí) 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配，某些情況下也用于食品飲料工業(yè)，此外，萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間在醫(yī)工業(yè)中也很常用
100000級(jí) 十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間用于很多的工業(yè)部門(mén)，比如光學(xué)產(chǎn)品的制造，用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)，液壓或氣壓系統(tǒng)的制造，食品飲料的生產(chǎn)，醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這無(wú)塵車(chē)間

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